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化学性能非常稳定,耐强酸,包括极强的路易氏酸,耐强碱、高压、高温。
与接触的任何特种气体如氟气,强腐蚀性物质,强氧化剂,还原剂均不发生反应
应用:
1.用于半导体工业真空泵油,得到世界著名真空泵制造商,如莱宝Leybold、爱德华Edwards、荏原Ebara等的认可。
尤其半导体芯片加工过程中的蚀刻和沉淀过程特种气体处理。