电子半导体工业润滑解决方案

电子半导体工业用高性能润滑剂

保护敏感电子元器件的多功能润滑剂

在电子和半导体制造领域，污染可能影响设备精度、操作再现性和设备的使用寿命。当用于真空泵和洁净室内时，高性能润滑剂有助于减少在制造电子及半导体的空间内产生的污染物和挥发性气体。从而提高产量，同时延长设备的使用寿命。

多功能、耐高温、抗腐蚀润滑剂（润滑脂、润滑油和真空泵油）还可以用于各种生产线部件，其中包括：

• 轴承

• 阀门

• 密封件

• O 圈

• 链条

• 压缩机

• 变速箱

• 机械泵及其他部件

高性能润滑剂可以为电子和半导体行业提供润滑防护。这是一类长效润滑油和润滑脂，通常用于油泵、干泵、真空系统、洁净室、机器人系统等。

洁净室用高稳定性润滑剂

高性能润滑剂可以耐受极端温度和压力，可以为敏感的电子元器件提供更为稳定的工作环境。

由于活性化学品和物质本身就是半导体和电子元器件的安全隐患，因此，使用不能与这些半导体或电子元器件相容的润滑剂便会损坏组件。高性能润滑剂具有化学惰性和生物惰性，因而可以与氧气相容，并且与化学品、塑料、金属和弹性体不会发生反应。

高性能润滑剂润滑剂不仅能在严苛的工况下展现稳定和安全的性能，而且使用寿命更长，因此无需频繁地为部件补充润滑油。

高性能润滑剂还具有适用于电子和半导体行业的其他性能，其中包括：

• 出色的蒸气压，在-15℃ 至 300℃（5℉ 至 572℉）温度范围内，有着低至 10-13 mmHg 的蒸气压

• 不会与酸性或碱性清洁剂、消毒剂、蒸汽和水分发生反应，因而可以防止损坏组件

• 不含挥发性有机化合物 (VOC) 或氯

• 环境足迹小 — 润滑油可再生

• 与半导体工业中常用的化学品相容

• 可应对极端工况的出色性能

低蒸气压 (LVP)润滑脂 和真空泵油 (VPF) 润滑油在以下环境中提供出色的性能：

• 低压

• 极高或极低温

• 接触有害化学物质或气体

VPF（真空泵油）

VPF 可在传统真空泵油会导致安全、废弃物处置和维护问题的领域大显身手。

VPF 的稳定性相当高，有助于减少与废弃物和维护相关的问题。其不燃，可以降低泵内起火的风险。

此外，VPF 不含缩醛基团，因此不易被半导体制程中的关键元素 — 路易斯酸影响。凭借这些独有的性能，VPF 获得了主流真空泵制造商的广泛认可。

LVP（低蒸气压）润滑脂

LVP 润滑脂不会燃烧、分解或反应生成胶状或固体沉积物，也不会助燃。

这些特性使  LVP 润滑脂能够在无法使用烃基润滑脂、硅基润滑脂和氯氟烃基润滑脂的环境下大显身手。LVP 润滑脂可在低蒸气压以及恶劣的化学环境下工作。即便是在这些工况下， LVP 润滑脂仍可以展现久经验证的性能。

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